天成 开拓进取 图 _真空储存_真空

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：     

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，真空，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，激光器真空系统，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止造成污染，适合用干式真空泵；

用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。

 但当转子**部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，真空炉，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。

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