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泵开始工作不久，出现低压力Pg。泵继续运转，运城磁控溅射，由于泵温升高使泵油饱和蒸气压上升、黏度下降，入口压力稍有回升至Pg。Pg即是泵获得的稳定的低压力，亦是泵的极限压力。 旋片真空泵的极限压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时，极限压力值比用热传导真空计测量的结果约低一个数量级。

这是因为前者只能测得气体的分压，后者测得的是被压气体的全压。我国现行规定使用压缩式真空计来测量油封机械泵的极限压力。泵循环油量也影响泵的极限压力。

根据权利要求1所述的管内镀膜设备及镀膜技术，其特征在于：所述的磁体为长跑道形结构，磁体长度与被镀管长度相当，除两端外，磁控溅射价格，产生基本与轴向垂直的磁场，磁控溅射镀膜，镀膜过程中，磁体整体绕被镀管旋转，旋转轴与被镀管中心轴线相同。如果被镀管为绝缘管，磁控溅射型号，则被镀管内与轴向平行设置细杆状或细管状金属阳极1根或多根。

 根据权利要求的管内镀膜设备及镀膜技术，其特征在于：所述的细管状金属阳极可同时作为充气管道，不再另外设置充气管道;在细管状阳极侧壁上开进气孔。